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尼康光刻机马达 FAULHABER MINIMOTOR SA 22/2K 97.3：1

尼康光刻机马达 FAULHABER MINIMOTOR SA 22/2K 5.44：1

德国FAULHABER电机,FAULHABE编码器 Faulhaber Group――冯哈伯集团，是由德国Dr. Fritz Faulhaber GmbH & Co. KG；瑞士 Minimotor SA；美国 Micro Mo Electronic Inc.和瑞士 ARSAPE 组成的微电机制造国际集团。是世界直流微电机大品牌，欧美及日本制造的半导体工业设备及各种自动化设备有50%以上使用FAULHABER集团的各类微电机系列产品。FAULHABER 编码器,FAULHABER集团的编码器有如下两种类型：l 可独立安装或与其它系统集成的光学编码器 。2可独立安装或与电机配套安装的电磁编码器。 以上两类编码器与FAULHABER电机结合，均能实现高精度的速度与位置控制。 特点： l光电、磁电式结构，双通道、三通道输出，模拟、数字信号格式规格齐全； 2与FAULHABER电机紧密集成，浑然一体，不同规格电机均有与之对应编码器匹配；分辨率可达1024线，部分产品可选择长线驱动，以获取更长的信号传输距离；体积小巧，***短只增加电机长度 1.4mm ，转动惯量低、消耗电流小；特有低电压供电编码器，2V电压下即可正常工作；信号、电源线采用标准排线插头，易于与系统集成，即插即用；全部产品均有军品规格提供，满足极端低温指标。